SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统
SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处理方式子系统、气体监【jiān】测子系统以及辅助设备和数据采集与处理方式子系统等构成，如下图【tú】所示。
采样预处理方式子系统由多路样气传输管、采样泵和分布式多通道采样仪【yí】组成，可以对多个点【diǎn】位进行不间断实时采样，并通【tōng】过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。
气体监测子系统由多个分析【xī】仪组成，可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配，实现不同物质的【de】在线监测。
辅助【zhù】系统由集成机柜和校准单元组成，可以保证整套系统的正常运行，校准【zhǔn】单元可以定期对系统进行校准，保证监测数据的稳定和准确。
数据采集与处理方式子系统可以监控查询所有测量信息【xī】和系统【tǒng】工作状态信息，并将监测数据传输至企业的中控平台。
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